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Edwards進口分子泵有什么要點?教期待大神解答
http://www.heqixuan.cn/ask/4350757.html
  • Edwards進口分子泵(1)轉子轉速比做到20000r/min,故分子泵啟動時間很長。 (2)汽體處在分子結構流情況,故必須配備前級泵,一般使用旋片泵做為前級泵。
  • Edwards進口分子泵發(fā)生半邊熱,半邊冷的現(xiàn)象原因:附近有光照或其他熱源 解決方法:避免光照或熱源
  • Edwards進口分子泵是一種高速旋轉的機械泵,因此對平衡的要求很高,對固體異物非常脆弱,通常要在分子泵的入口處安裝金屬過濾網。分子泵在工作過程中,如果壓強突然惡化,則有可能損壞葉片。
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