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安捷倫分子泵有什么特點呢?
http://www.heqixuan.cn/ask/4430492.html
  • 安捷倫分子泵的質量和制造標準確保了DS旋片泵對輕質氣體具有穩(wěn)定的高抽速,同時還具有低噪聲,返油量少以及使用壽命長的特點
  • 安捷倫渦輪分子泵包括集成泵組和多流路泵,其設計旨在實際應用中達到較佳性能。泵的緊湊型設計滿足工業(yè)中的嚴苛空間要求。渦旋分子泵幾乎不需要維護,并可避免錯誤使用。
  • 分子泵在半導體設備中的應用在半導體生產制造工藝中,分子泵廣泛應用于光刻機、薄膜沉積設備、刻蝕設備、離子注入機等關鍵設備。
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