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維修Edwards進(jìn)口分子泵時(shí)需要注意什么？有懂行的嗎？

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Edwards進(jìn)口分子泵故障燈亮。檢查電路板設(shè)置開(kāi)關(guān)是否在R位置，此時(shí)應(yīng)在N位置。檢查風(fēng)扇是否停止。如果風(fēng)扇正常，可能是分子泵電源故障。請(qǐng)聯(lián)系制造商。
Edwards進(jìn)口分子泵不能在大氣中打開(kāi)，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵
當(dāng)Edwards進(jìn)口分子泵未啟動(dòng)時(shí)，檢查前級(jí)泵和電磁閥是否正常工作。當(dāng)分子泵發(fā)生故障時(shí)，必須根據(jù)故障提示進(jìn)行處理。

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