磁懸浮分子泵的保養(yǎng)周期與維護(hù)要點（約450字）磁懸浮分子泵作為高精密真空設(shè)備，其保養(yǎng)周期需根據(jù)運行工況、負(fù)載強度和環(huán)境條件綜合確定。常規(guī)建議如下：1. 基礎(chǔ)維護(hù)周期建議每6-12個月進(jìn)行預(yù)防性維護(hù)，適.. 全文

封式旋片泵（即油泵）極限真空能到達(dá)10-3mbar，但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問題，如果沒有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會引起油污染，從而導(dǎo)致分子泵提供.. 全文

2.需經(jīng)常檢查油位位置，不符合規(guī)定時須調(diào)整使之符合要求。以進(jìn)口真空泵運轉(zhuǎn)時，油位到油標(biāo)中心為準(zhǔn); 全文

Edwards進(jìn)口分子泵低振動：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會隨零件磨損而化。 全文