封式旋片泵（即油泵）極限真空能到達(dá)10-3mbar，但油泵容易產(chǎn)生返油倒吸的問(wèn)題，如果沒(méi)有控制返流的安全閥，或者不合理的放氣程序都會(huì)引起油蒸汽的返流，不合要求的安全閥也會(huì)引起油污染，從而導(dǎo)致分子泵提供.. 全文

檢查真空表是不是出現(xiàn)了問(wèn)題，Edwards真空分子泵維修出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來(lái)判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分.. 全文

檢查真空表是不是出現(xiàn)了問(wèn)題，Edwards真空分子泵維修出口是否打開(kāi)，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來(lái)判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分.. 全文

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