愛(ài)德華分子泵流量不足系統(tǒng)靜揚(yáng)程增加處理方法：檢查液體高度和系統(tǒng)壓； 全文

Edwards真空分子泵不能在大氣中打開(kāi)，必須在達(dá)到10Pa時(shí)打開(kāi)。 打開(kāi)相應(yīng)的高壓閥以啟動(dòng)分子泵 全文

真空泵的工作環(huán)境溫度：-50C—400C范圍內(nèi)，相對(duì)濕度不大于85%，進(jìn)氣口壓力小于一個(gè)大氣壓力條件下工作。 全文

ULVAC真空泵作為精密真空設(shè)備的部件，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光伏、鍍膜等行業(yè)。其穩(wěn)定的運(yùn)行直接影響生產(chǎn)工藝質(zhì)量，而科學(xué)的維修保養(yǎng)是延長(zhǎng)設(shè)備壽命的關(guān)鍵。以下針對(duì)常見(jiàn)故障提供系統(tǒng)化維修方案： 一、典型故障診.. 全文