當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開Edwards真空分子泵維修之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

檢查真空表是不是出現(xiàn)了問題，Edwards真空分子泵出口是否打開，機(jī)械泵油是否太臟，機(jī)械泵是否旋轉(zhuǎn)，系統(tǒng)是否漏氣。分子泵的葉片或轉(zhuǎn)子也可能損壞。您可以使用自己的工具移動(dòng)刀片來判斷它是否可以旋轉(zhuǎn)。分子泵.. 全文

分子泵過流保護(hù)維修方法主要包括以下步驟：斷電檢查。首先斷開電源，確保安全的情況下對(duì)泵的線路、電機(jī)及葉輪進(jìn)行檢查；看是否有破損或雜物卡住導(dǎo)致過載的情況出現(xiàn)。若有損壞則需要進(jìn)行相應(yīng)的更換和清理操作，并注意.. 全文

愛德華分子泵控制器低振動(dòng)：磁懸浮意味著無摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文