真空泵在運(yùn)行過(guò)程中，軸承溫度不能超過(guò)環(huán)境溫度35℃，Z高溫度不得超過(guò)80℃。 全文

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開(kāi)Edwards進(jìn)口分子泵之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文

在存在不同強(qiáng)度和持續(xù)時(shí)間的中子和伽馬輻射的情況時(shí)，這種輻射破壞安裝在泵上的電子驅(qū)動(dòng)器和變頻器，在這種情況下，必須使用連接電纜將電子驅(qū)動(dòng)器安裝在遠(yuǎn)離輻射的安全距離上。 全文

<div style="text-align:center;margin:5px 0;"><img src="https://upimg300.dns4.cn/pic/257062/p15/20240.. 全文