當(dāng)ULVAC真空泵重新裝配后應(yīng)進(jìn)行試運(yùn)行，一般須空運(yùn)轉(zhuǎn)2小時(shí)并換油二次，因清洗時(shí)在真空泵中會(huì)留有一定量易揮發(fā)物，待運(yùn)轉(zhuǎn)正常后，再投入正常工作 全文

愛(ài)德華分子泵控制器低振動(dòng)：磁懸浮意味著無(wú)摩擦，因此振動(dòng)很低，此外這種特性能夠保持不變，并且不會(huì)隨零件磨損而化。 全文

儀器構(gòu)造實(shí)用 一機(jī)兩用：愛(ài)德華分子泵維修控制系統(tǒng)除了作為真空控制系統(tǒng)使用外，還可以用作活動(dòng)平臺(tái)，用于放置電爐及其它設(shè)備，十分方便。 全文

當(dāng)出現(xiàn)警告信息“ EF”時(shí)，檢查冷卻水通道是否暢通，并用機(jī)q進(jìn)行檢查。 在再次打開(kāi)Edwards真空分子泵維修之前，請(qǐng)確保水路暢通。 當(dāng)出現(xiàn)其他報(bào)警信號(hào)時(shí)，嚴(yán)禁再次啟動(dòng)分子泵進(jìn)行后處理。 全文