渦輪分子泵是高或超高真空系統(tǒng)中常用的抽氣設(shè)備，其故障維修方法主要包括以下幾個方面：1.氣體泄漏處理當發(fā)現(xiàn)泵的極限真空度低時可能是由于系統(tǒng)漏氣引起的。此時應(yīng)使用檢漏儀器查找并確定具體的泄位置對法蘭連接處進行重新密封或更換磨損的密封圈以解決泄露問題；對于因材料老化造成的小裂紋可以采用的密封膠進行修補。此外還需檢查并確保排氣管道和閥門的尺寸符合規(guī)定以避免電導值損失導致的性能下降。2.異響與振動檢修轉(zhuǎn)子不平衡、軸承損壞等都可能導致渦輪分子泵在運行過程中產(chǎn)生較大的噪音及震動針對這類情況需要停機后進行檢查并根據(jù)檢查結(jié)果采取相應(yīng)的措施如重新校正轉(zhuǎn)子的平衡性更換潤滑不良的軸承等以確保設(shè)備的穩(wěn)定運行減少異常聲響的產(chǎn)生以及防止進一步損害的發(fā)生。同時還需要確保按照說明書正確安裝泵體避免由于安放不當導致的問題發(fā)生。3.過熱現(xiàn)象應(yīng)對：過熱通常是由于冷卻系統(tǒng)故障造成的需要檢查水冷或者風冷系統(tǒng)的運行狀態(tài)確保其正常工作以降低溫度保障設(shè)備的穩(wěn)定運行和性；另外還要加強日常維護保養(yǎng)工作以減少摩擦損耗從而有效預(yù)防出現(xiàn)過熱的情形影響正常的工作進度和使用壽命期限等問題出現(xiàn)的情況發(fā)生概率大小程度的高低變化發(fā)展趨勢等情況發(fā)展態(tài)勢的好壞與否等等一系列相關(guān)問題得到妥善合理地解決處理好到位才行呢！