分子泵故障處理指南分子泵作為高精密真空設(shè)備的部件，其穩(wěn)定運行直接影響真空系統(tǒng)的性能。常見故障處理需遵循以下步驟： 一、啟動故障處理1. 檢查電源：確認380V三相電源相位正確，變頻器無過載報警2. 測試控制器：用萬用表測量控制板輸出電壓（正常范圍24-30V DC）3. 排查機械卡阻：手動盤車檢測軸承阻力（標(biāo)準(zhǔn)值＜0.5N·m） 二、異常噪音處理1. 軸承故障判斷：使用定位異響部位，800Hz以上高頻噪音提示軸承損壞2. 異物排查：拆解進氣口濾網(wǎng)，使用內(nèi)窺鏡檢查渦輪級間（建議每2000小時清潔）### 三、真空度下降處理1. 密封檢測： - 氦質(zhì)譜檢漏儀檢測法蘭（漏率＜1×10^-9 Pa·m3/s） - 更換失效的氟橡膠密封圈（壓縮量保持30%）2. 油質(zhì)監(jiān)測：取樣檢測擴散泵油粘度（新油40mm2/s，報廢值＜28mm2/s） 四、溫度異常處理1. 散熱系統(tǒng)檢查： - 水冷系統(tǒng)流量≥5L/min，溫差＜3℃ - 風(fēng)冷設(shè)備清潔翅片（壓降＜50Pa）2. 潤滑系統(tǒng)維護：補充合成酯類潤滑油（ISO VG22），單次注油量不超過50ml### 預(yù)防性維護要點1. 建立振動監(jiān)測檔案（速度值＜4.5mm/s RMS）2. 每運行4000小時更換分子篩吸附器3. 使用紅外熱像儀定期掃描電機溫升（ΔT＜15K）注意事項：處理前必須執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)泄壓流程，待泵體溫度降至40℃以下方可操作。涉及轉(zhuǎn)子動平衡（G2.5級）或磁軸承（間隙0.1-0.3mm）調(diào)整時，建議返廠維護。通過系統(tǒng)化故障診斷和預(yù)防性維護，可將分子泵MTBF提升至30,000小時以上，顯著降低非計劃停機風(fēng)險。