Pfeiffer真空泵保養(yǎng)拆解操作指南一、準(zhǔn)備工作1. 安全措施：斷電并泄壓，確保泵體溫度降至室溫，佩戴防護(hù)手套及護(hù)目鏡2. 工具準(zhǔn)備：扳手、內(nèi)六角套筒、無(wú)塵布、真空油脂、密封膠、超聲波清洗機(jī)二、拆解流程1. 外部組件拆卸：- 拆除進(jìn)氣口/排氣口法蘭- 卸下電機(jī)聯(lián)軸器防護(hù)罩- 斷開冷卻水管路（水冷機(jī)型）- 分離電機(jī)與泵體連接螺栓2. 組件分解：① 轉(zhuǎn)子系統(tǒng)：- 使用拉拔器拆卸葉輪組件- 按順序分解各級(jí)轉(zhuǎn)子與定子模塊- 標(biāo)記齒輪箱各齒輪嚙合相位② 密封系統(tǒng)：- 取出機(jī)械密封組件（干式泵）- 檢查油封完整性（油潤(rùn)滑泵）- 清理密封腔體殘留物3. 輔助系統(tǒng)處理：- 拆卸真空計(jì)接口- 檢查過濾器堵塞情況- 清理油霧分離器（如有）三、清潔與檢查1. 使用溶劑超聲清洗金屬部件（20kHz/30min）2. 檢查轉(zhuǎn)子動(dòng)平衡（允許偏差≤0.5g·mm）3. 測(cè)量軸向間隙（標(biāo)準(zhǔn)值0.03-0.05mm）4. 檢測(cè)軸承游隙（應(yīng)＜0.01mm）四、組裝規(guī)范1. 按反向順序裝配，確保各部件定位銷對(duì)齊2. 密封面涂抹真空脂（APIE GL-5級(jí)）3. 分階段預(yù)緊螺栓（扭矩值參照手冊(cè)±5%）4. 聯(lián)軸器校準(zhǔn)（同軸度≤0.02mm）五、注意事項(xiàng)1. 禁止使用清洗陶瓷部件2. 油潤(rùn)滑泵需更換ISO VG 100真空油3. 復(fù)合分子泵需保持渦輪葉片原裝配向4. 重組后需進(jìn)行24小時(shí)磨合運(yùn)行（30%負(fù)載）維護(hù)周期建議：連續(xù)運(yùn)行2000小時(shí)或真空度下降15%時(shí)進(jìn)行保養(yǎng)。特殊工況應(yīng)縮短至1000小時(shí)維護(hù)。建議保留拆解過程影像記錄以備查驗(yàn)。涉及磁懸浮軸承等精密部件時(shí)，建議返廠維護(hù)。