

真空度通常以帕斯卡(Pa)或托(Torr)表示。渦輪分子泵的使命,是將氣體分子從被抽容器中移除,從而將壓力降至高真空(HV,10^{-3}Pa~10^{-7}Pa)乃至超高真空(UHV,<10^{-7}Pa)范圍。這個“低氣壓”水平,是半導(dǎo)體鍍膜、粒子、表面科學(xué)分析等領(lǐng)域不可或缺的基礎(chǔ)。
渦輪分子泵的真空度是其能力的量化體現(xiàn)。它通過高速旋轉(zhuǎn)葉片對氣體分子進行的動量傳遞和分級壓縮,是實現(xiàn)高真空和超高真空的主力軍。理解其工作原理及影響極限真空度的因素(氣體負荷、密封、抽速、前級泵、清潔度),對于設(shè)計、操作和優(yōu)化真空系統(tǒng)至關(guān)重要,是科技領(lǐng)域的關(guān)鍵鑰匙。
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愛德華分子泵使用中發(fā)現(xiàn)油發(fā)黑,請問油為什么發(fā)黑?或者多長時間油才會變黑? 原因:冷卻不良,負載太大 解決方法:檢查冷卻系統(tǒng),檢查真空系統(tǒng) 全文
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Edwards真空分子泵使用高壓強耐沖擊分子泵同時配合控制電源使用,大大增強了儀器的可靠性,特別是當(dāng)遇到爐管密封系統(tǒng)與在使用過程中的大氣相通,導(dǎo)致系統(tǒng)會自動停止工作時,只需等待爐管密封系統(tǒng)恢復(fù)正常就可.. 全文