

真空度通常以帕斯卡(Pa)或托(Torr)表示。渦輪分子泵的使命,是將氣體分子從被抽容器中移除,從而將壓力降至高真空(HV,10^{-3}Pa~10^{-7}Pa)乃至超高真空(UHV,<10^{-7}Pa)范圍。這個“低氣壓”水平,是半導體鍍膜、粒子、表面科學分析等領(lǐng)域不可或缺的基礎(chǔ)。
渦輪分子泵的真空度是其能力的量化體現(xiàn)。它通過高速旋轉(zhuǎn)葉片對氣體分子進行的動量傳遞和分級壓縮,是實現(xiàn)高真空和超高真空的主力軍。理解其工作原理及影響極限真空度的因素(氣體負荷、密封、抽速、前級泵、清潔度),對于設(shè)計、操作和優(yōu)化真空系統(tǒng)至關(guān)重要,是科技領(lǐng)域的關(guān)鍵鑰匙。
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