復合分子泵（通常結合了渦輪分子泵和牽引分子泵）是獲取高真空和超高真空的關鍵設備。為確保其長期穩(wěn)定運行、延長使用壽命并維持佳性能，定期和規(guī)范的維護保養(yǎng)至關重要。

維護內容

1.日常監(jiān)控與記錄：

*運行參數(shù)：定期檢查并記錄泵的轉速、電流、溫度（泵體和電機）、冷卻系統(tǒng)狀態(tài)（如適用）以及前級泵的運行參數(shù)（入口壓力、油位等）。任何異常波動都可能是潛在問題的信號。

*振動與噪音：注意傾聽泵運行時的聲音是否異常（如摩擦、刮擦聲），并觀察是否有異常振動。顯著的變化可能指示軸承磨損或內部部件松動。

*真空度：監(jiān)控泵所能達到的極限真空度和抽速，性能下降可能是需要維護的信號。

2.定期維護（視使用頻率和環(huán)境而定）：

*前級泵維護：復合分子泵依賴前級泵（通常是油封旋片泵或干泵）。必須嚴格按照前級泵的維護要求進行換油、清潔油霧濾網/油氣分離器、檢查油位和密封件等。污染或失效的前級泵會直接影響分子泵的性能和壽命。

*進氣口濾網：清潔或更換泵進氣口的防塵濾網（如有），防止大顆?；覊m進入泵體。

*冷卻系統(tǒng)：確保風冷系統(tǒng)的散熱片清潔無塵；水冷系統(tǒng)需檢查水質、流量，防止結垢或堵塞。

*泵體清潔：保持泵體外殼清潔，避免灰塵堆積影響散熱。

3.維護（通常由廠家或工程師執(zhí)行）：

*軸承檢查與更換：高速軸承是分子泵的部件，壽命有限。根據(jù)運行小時數(shù)或廠家建議，定期（通常是數(shù)千到數(shù)萬小時）由人員檢查或更換軸承。

*內部清潔：在嚴重污染（如大量油蒸氣反流、顆粒物進入）后，可能需要對泵內部進行清潔。這通常需要將泵返廠或在嚴格控制的潔凈環(huán)境下進行。

*動平衡校驗：在更換軸承或進行內部維修后，通常需要重新進行轉子的動平衡校驗。

*密封件檢查：檢查各連接法蘭處的密封圈（O型圈），如有老化、破損或失去彈性應及時更換，確保真空密封性。

操作規(guī)范

*正確的啟停順序：嚴格遵守“先啟動前級泵，待前級真空達到要求后再啟動分子泵”的啟動順序；關機時則相反，“先停分子泵，待其轉速降至安全范圍或完全停止后，再停前級泵”。避免在低真空下啟動分子泵或在高壓差下直接關機。

*避免返油：防止前級泵油或工藝過程中的油蒸氣大量返流進入分子泵腔體。

*避免顆粒物：防止大顆粒粉塵或碎屑進入泵內，以免損壞高速旋轉的葉輪。