復合分子泵是現代超高真空系統(tǒng)的動力源，由渦輪分子泵段與牽引分子泵段復合而成。其工作原理基于高速旋轉的葉片對氣體分子的動量傳遞：渦輪段葉片以數百米每秒的線速度撞擊氣體分子，實現氣體分子的定向高速傳輸；牽引段則利用高速旋轉的轉子與定子間狹窄縫隙產生的粘滯牽引效應，將氣體分子從入口端拖曳至出口端。這種復合結構使分子泵兼具渦輪泵的高抽速和牽引泵的極限真空優(yōu)勢，極限真空可達10??Pa至10??Pa量級。
在精密檢測領域，復合分子泵展現出獨值：
-無油污染保障：全干式運行規(guī)避了油擴散泵的返油污染，為表面分析（如XPS、AES）、電子顯微鏡等儀器提供超潔凈真空環(huán)境；
-快速抽氣能力：渦輪段的高抽速特性（可達1000L/s以上）大幅縮短系統(tǒng)抽氣時間，提升檢測效率；
-穩(wěn)定超高真空：牽引段對低質量數氣體（如氫氣）的高壓縮比特性，確保分析腔室獲得穩(wěn)定的超高真空本底；
-緊湊結構設計：模塊化結構易于集成到精密儀器中，滿足空間受限的檢測設備需求。
目前，復合分子泵已成為半導體缺陷分析、材料表面科學研究、高能物理探測器等檢測裝備的真空解決方案。隨著納米技術及科技的發(fā)展，其低振動、低電磁干擾的特性將進一步推動精密測量領域的突破。
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