高真空分子泵是獲得高/超高真空的關(guān)鍵設(shè)備，其穩(wěn)定運行至關(guān)重要。以下列舉常見故障現(xiàn)象、可能原因及處理措施：

1.異常振動或噪音增大

*原因：軸承磨損或損壞（常見）、轉(zhuǎn)子動平衡破壞、泵體固定松動、異物進入泵腔、電機問題。

*處理：

*立即停機，避免進一步損壞。

*檢查并緊固所有安裝螺栓和管路連接。

*傾聽聲音來源，初步判斷是否來自軸承或電機。

*若懷疑軸承問題，需維修人員檢查并更換軸承（需工具和清潔環(huán)境）。

*若懷疑異物，需對泵腔進行清潔（通常需返廠或服務(wù)）。

2.泵體溫度異常升高

*原因：冷卻水流量不足或中斷、冷卻水溫過高、冷卻水管路堵塞、軸承潤滑不良或損壞導(dǎo)致摩擦增大、環(huán)境溫度過高、電機過熱。

*處理：

*檢查冷卻水系統(tǒng)：確保水壓、流量符合要求（通常需≥2bar，流量按手冊要求），檢查管路是否暢通，過濾器是否堵塞，水溫是否在允許范圍內(nèi)（通常進水≤25℃，出水≤40-45℃）。

*清潔冷卻水換熱器表面（如有）。

*檢查環(huán)境通風散熱情況。

*若溫度仍高，結(jié)合噪音判斷是否軸承問題。

3.抽氣速率明顯下降

*原因：入口法蘭或前級管道存在較大漏氣、前級泵抽速不足或故障、泵內(nèi)部油污染（潤滑油或擴散泵油返流）、泵內(nèi)部嚴重污染（粉塵、聚合物）、軸承磨損導(dǎo)致轉(zhuǎn)速下降。

*處理：

*進行系統(tǒng)檢漏（氦質(zhì)譜檢漏儀），重點檢查分子泵入口法蘭密封圈及前級管路。

*檢查前級泵：油位、油質(zhì)、是否達到極限真空、運行是否正常。

*若懷疑泵內(nèi)油污染或污染，可能需要對分子泵進行清潔保養(yǎng)。

*檢查分子泵轉(zhuǎn)速顯示是否正常（如有），異常則可能需檢查軸承或驅(qū)動器。

4.極限真空度變差

*原因：系統(tǒng)存在漏氣、前級真空不足、泵內(nèi)部或腔室表面放氣（污染、水汽）、泵本身性能下降（磨損、污染）、規(guī)管測量誤差。

*處理：

*系統(tǒng)檢漏。

*確保前級泵工作正常，達到其應(yīng)有極限真空。

*延長系統(tǒng)烘烤除氣時間（如果適用）。

*檢查真空規(guī)管是否準確（可對比或校準）。

*若排除以上，則可能分子泵內(nèi)部問題，需考慮清潔或檢測。

5.無法啟動或啟動后立即停止

*原因：電源故障（缺相、電壓異常）、控制器/驅(qū)動器故障、電機故障、過載保護（如軸承卡死）、通訊故障（與控制器）。

*處理：

*檢查供電電壓是否穩(wěn)定且在額定范圍。

*檢查控制器狀態(tài)顯示、報警信息。

*檢查電機連接線是否牢固。

*嘗試手動盤動轉(zhuǎn)子（斷電后），若無法轉(zhuǎn)動或阻力極大，可能軸承損壞卡死。

*重啟控制器，檢查通訊線路。

重要提示：

*安全：操作前務(wù)必斷電、降溫、泄壓至大氣。

*記錄：詳細記錄故障現(xiàn)象、報警信息、操作步驟和處理結(jié)果。

*性：軸承更換、內(nèi)部清潔等操作技術(shù)要求高，需由經(jīng)過培訓(xùn)的人員或返廠進行。

*預(yù)防性維護：定期檢查冷卻水、潤滑脂（如有）、運行聲音、監(jiān)測溫度變化是預(yù)防故障的關(guān)鍵。

遇到復(fù)雜問題，及時聯(lián)系設(shè)備制造商或維修服務(wù)商。