氦氣檢漏儀作為高精度泄漏檢測設(shè)備，其長期穩(wěn)定運行離不開科學(xué)規(guī)范的維護(hù)保養(yǎng)。以下為關(guān)鍵維護(hù)要點：

1.日常清潔與防護(hù)

*使用后及時用無水乙醇清潔探頭及采樣口，避免油污、灰塵堆積影響靈敏度。

*保持儀器表面干燥，避免潮濕環(huán)境導(dǎo)致電路故障。

*運輸時使用防護(hù)箱，防止碰撞損傷精密傳感器。

2.定期泄漏自檢

*每周采用標(biāo)準(zhǔn)漏孔（如1×10??Pa·m3/s）進(jìn)行儀器本底泄漏測試。

*若響應(yīng)值異常升高，需排查真空泵密封圈、管路接頭等易漏點。

*記錄測試數(shù)據(jù)，建立儀器性能變化趨勢檔案。

3.真空系統(tǒng)維護(hù)

*每500工作小時更換真空泵油（酯類油），舊油需排凈。

*每月檢查分子泵軸承聲音及振動情況，異常時及時停機檢修。

*真空規(guī)管每半年送機構(gòu)校準(zhǔn)，保證壓力測量精度。

4.校準(zhǔn)與標(biāo)定

*依據(jù)ISO27893標(biāo)準(zhǔn)，每年度進(jìn)行全量程校準(zhǔn)（10??~10?1?Pa·m3/s）。

*校準(zhǔn)需在標(biāo)準(zhǔn)溫度（23±2℃）及濕度（45%~55%）環(huán)境下進(jìn)行。

*使用NIST可溯源標(biāo)準(zhǔn)漏孔，校準(zhǔn)不確定度應(yīng)≤±15%。

5.關(guān)鍵部件更換

*氦質(zhì)譜計燈絲壽命約8000小時，電流值超過2.5A時需更換。

*波紋管密封件每3年強制更換，預(yù)防金屬疲勞導(dǎo)致微漏。

*電路板除塵每半年1次，使用防靜電刷及清潔劑。

通過建立三級維護(hù)體系（日清潔、周檢測、年校準(zhǔn)），配合關(guān)鍵部件預(yù)防性更換，可顯著提升設(shè)備可靠性。維護(hù)記錄應(yīng)包含操作人員、維護(hù)內(nèi)容及儀器狀態(tài)，實現(xiàn)全生命周期管理。特別注意避免粗暴操作及違規(guī)拆卸，傳感器維修必須返廠處理。規(guī)范保養(yǎng)可延長設(shè)備壽命至10年以上，保障檢測數(shù)據(jù)準(zhǔn)確可靠。