氦氣檢漏儀作為高精度、高靈敏度的泄漏檢測設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、真空、航空航天、制冷、汽車、電力、科研等領(lǐng)域，用于定位和量化微小泄漏。其原理是利用氦氣作為示蹤氣體，通過質(zhì)譜儀檢測氦離子信號。

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