




什么是流量控制器
質量流量控制器,即MassFlowController(MFC),不但具有質量流量計的功能,更重要的是,它能自動控制氣體流量,即用戶可根據需要進行流量設定,智能電磁流量計哪里有,MFC自動地將流量恒定在設定值上,轉子流量計哪里有,即使系統(tǒng)壓力有波動或環(huán)境溫度有變化,也不會使其偏離設定值。質量流量控制器(Mass Flow Controller縮寫為MFC)用于對于氣體或者液體的質量流量進行精密測量和控制。擴散,氧化,分子束外延,CVD,等離子刻蝕,濺射,離子注入,以及真空鍍膜設備,光纖熔煉,微反應裝置,混氣配氣系統(tǒng),毛細管測量氣象色譜儀,光導纖維制造設備中。并廣泛用于石油化工。冶金,制藥等。特點:精度高,重復性好。
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流量控制器的原理是什么?
質量流量控制器由流量傳感器、分流器通道、流量調節(jié)閥門和放大控制器等部分組成。質量流量控制器的剖面結構圖見圖1。氣體流量傳感器采用毛細管傳熱溫差量熱法原理測量氣體的質量流量(無需溫度壓力補償)。將傳感器加熱電橋測得的流量信號送入放大器放大, 放大后的流量檢測電壓與設定電壓進行比較, 再將差值信號放大后去控制調節(jié)閥門,閉環(huán)控制流過通道的流量使之與設定的流量相等。分流器決定主通道的流量。與質量流量控制器配套的流量顯示儀上設置有穩(wěn)壓電源,數字電壓表, 設定電位器, 外設、內設轉換和三位閥控開關等。氣體質量流量控制器與流量顯示儀連接后的工作原理。
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流量控制器
怎樣選擇流量顯示單位?
我們的流量顯示儀一般提供三種流量顯示單位,即百分比﹑SCCM﹑SLM。出廠前根據用戶的要求設定。按百分比顯示的方式,即是將 MFM / MFC 的流量測量值按其占滿量程的百分比來顯示,例如,規(guī)格為50SCCM的MFM/MFC,當顯示值為80%時,流量計哪里有,實際的流量為40SCCM。對任何一種規(guī)格的MFM/MFC,滿量程值都顯示為100%。這種方式通用性好,可配不同量程的MFM/MFC,但不直觀,有的用戶不習慣。
按 SCCM或 SLM顯示,出廠時對流量顯示的范圍與相應的MFM/MFC的量程進行匹配,手持式流量計哪里有,使用時顯示值即是流量值,很直觀,符合習慣,為多數用戶所采用。 匹配好后,原則上也能接其它量程的MFM/MFC使用,只是顯示值需要修正。


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