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沈陽東創(chuàng)貴金屬材料有限公司
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采用連續(xù)式硫化法的情況下，不會有因切去加壓成形產生的毛邊或一般的擠壓處理和在硫化處理槽內進行處理時橡膠管兩端翹起的部分而導致的橡膠浪費，另外能夠縮短制造時間和減少人工費用，因此能夠降低輥筒的制造成本，撫順2N金靶材，從這些方面考慮，此方法優(yōu)于間歇式硫化法。
此外，硫化處理后，由于對每個輥筒都進行了剪切，所以基本上不會出現上述差別，這樣就可緩解長度方向的電阻值的不均勻。
而未米的0.18um}藝甚至0.13m工藝，所需要的靶材純度將要求達到5甚至6N以上。銅與鋁相比較，銅具有更高的抗電遷移能力及更低的電阻率，能夠滿足！導體工藝在0.25um以下的亞微米布線的需要但卻帶米了其他的問題：銅與有機介質材料的附著強度低．并且容易發(fā)生反應，導致在使用過程中芯片的銅互連線被腐蝕而斷路。
為了解決以上這些問題，需要在銅與介質層之間設置阻擋層。阻擋層材料一般采用高熔點、高電阻率的金屬及其化合物，因此要求阻擋層厚度小于50nm，與銅及介質材料的附著性能良好。銅互連和鋁互連的阻擋層材料是不同的．需要研制新的靶材材料。銅互連的阻擋層用靶材包括Ta、W、TaSi、WSi等．但是Ta、W都是難熔金屬．制作相對困難，如今正在研究鉬、鉻等的臺金作為替代材料。
中國的貴金屬工業(yè)由于較長時期處于國家計劃經濟體制，哪家有2N金靶材，因此發(fā)展比較緩慢，特別是鉑族金屬起步更是比較晚，2N金靶材價格，工藝技術比較落后，哪里有2N金靶材，國內資源更是匱乏，直到改革開放以后，以上海黃金的開業(yè)為標志，在這三十年里，才得到了迅速的發(fā)展，出現了現貨、紙黃金、紙白銀等等的交易模式，為投資者開打了通往財富的大門，更多的開辟了就業(yè)渠道，同時鉑族金屬的生產加工企業(yè)和流通領域的企業(yè)也似雨后春筍，蓬勃發(fā)展，使中國成為很大的的鉑族金屬進口和消費國。
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