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主營：氣體,特種氣體
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氣體產(chǎn)品大致可以分為兩大類別， 即一般工業(yè)氣體和特種氣體。一般工業(yè)氣體是指經(jīng)過空氣分離設(shè)備制造的普通級的氧氣和氮氣、經(jīng)過焦?fàn)t氣分離或電解等方法制造出來的普通純度的其它種類氣體。工業(yè)上，把常溫常壓下呈氣態(tài)的產(chǎn)品統(tǒng)稱為氣體產(chǎn)品.氣體產(chǎn)品種類繁多，大致可以分為一般工業(yè)氣體和特種氣體兩大類.一般工業(yè)氣體產(chǎn)銷量大，但對純度要求不高.特種氣體產(chǎn)銷量雖小，但根據(jù)不同的用途。包裝標(biāo)志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐 蝕鋼｛但在水和濕氣存在時，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無 水，管路、閥門和容器不用時應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離
自80年代1開始，特種氣體，我國的氣體工業(yè)迅速發(fā)展，特種氣體價格，各類純氣體、高純氣體、特種氣體、混合氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、電子工業(yè)用氣體等相繼問世，其品種數(shù)目已與國外發(fā)達(dá)國家水平相近。硅片的蝕刻氣體（特種氣體）主要是氟基氣體，包括四氟化碳、四氟化碳/氧氣、六氟化硫、六氟乙1烷/氧氣、三氟化氮等。包裝標(biāo)志：有毒氣體。常溫下，干氯不腐 蝕鋼｛但在水和濕氣存在時，由于生成鹽酸和次氯酸。所以呈強(qiáng)腐蝕性應(yīng)保持設(shè)備中無 水，管路、閥門和容器不用時應(yīng)密封或加帽，從而與大氣中的濕氣隔離
特種氣體屬于工業(yè)氣體的一種。工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)重要的基礎(chǔ)原料，根據(jù)不同氣體的生產(chǎn)工藝和用途，可以將工業(yè)氣體分為特種氣體、合成氣體、空分氣體三大類。特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域主要在集成電路制造、太陽能電池、化合物半導(dǎo)體、液晶顯示器、光纖生產(chǎn)四大領(lǐng)域，其中主要應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路的生產(chǎn)制造。在半導(dǎo)體工業(yè)中應(yīng)用的有110 余種單元特種氣體，特種氣體生產(chǎn)廠家，其中常用的有20～30 種。電子工業(yè)是當(dāng)今推動科技發(fā)展的高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)，由于所用氣體的品種多、質(zhì)量要求高，為有別于其它領(lǐng)域應(yīng)用的氣體，人們把這類在電子工業(yè)中用的氣體統(tǒng)稱為電子特種氣體。
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第9年
