鎢-鈦(W-Ti)膜以及以鎢-鈦(W-Ti)為基的合金膜是高溫合金膜,具有一系列的優(yōu)良性能。鎢具有高熔點(diǎn)、高強(qiáng)度和低的熱膨脹系數(shù)等性能,W/ Ti 合金具有低的電阻系數(shù)、良好的熱穩(wěn)定性能。如各種器件都需要起到導(dǎo)電作用的金屬布線,銀蒸發(fā)鍍靶材報價,例如Al 、Cu 和Ag 等已經(jīng)被廣泛的應(yīng)用和研究。但是布線金屬本身易 氧化、易與周圍的環(huán)境發(fā)生反應(yīng),與介質(zhì)層的粘結(jié)性差,易擴(kuò)散進(jìn)入Si 與SiO2 等器件的襯底材料中,并且在較低的溫度下會形成金屬與Si 的化合物,大連銀蒸發(fā)鍍靶材, 充當(dāng)了雜質(zhì)的角色,使器件的性能大幅度下降。







對圓周方向的電阻值的不均勻依然無法改善。

此外,采用連續(xù)硫化法時,銀蒸發(fā)鍍靶材加工,如果硫化時的熱傳遞沒有設(shè)法盡量達(dá)到均勻,則擠壓后的硫化速度不一致,這樣可能電阻值的不均勻程度反而大于間歇式硫化法。特別是在圓周方向上這種傾向更顯著。
采用連續(xù)硫化法時,銀蒸發(fā)鍍靶材工藝,在擠壓機(jī)的擠壓筒內(nèi)的半徑方向上有非常大的剪切速度分布,這可能會影響電子導(dǎo)電性填充劑的分散。
稀土金屬制取(preparation of rare earth metal),將稀土化合物還原成金屬的過程。還原所制得的稀土金屬產(chǎn)品含稀土95%~99%,主要用作鋼鐵、有色金屬及其合金的添加劑,以及用作生產(chǎn)稀土永磁材料、貯氫材料等功能材料的原料。瑞典人穆桑德爾(C.G.Mosander)自1826年先制得金屬以來,現(xiàn)已能生產(chǎn)全部稀土金屬,產(chǎn)品純度達(dá)到99.9%。常用的方法有金屬熱還原法制取稀土金屬和熔鹽電解法制取稀土金屬 。


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