設(shè)計條件(設(shè)計參數(shù)):潔凈車間溫度要求20℃~25℃;濕度要求45%~65%;潔凈要求10000級。廠房平面布置:空調(diào)末端采用高效過濾器;潔凈空調(diào)機設(shè)在模條房,樓板承重必須符合設(shè)備運行負荷要求。a、潔凈區(qū)域:潔凈車間潔凈度1萬級面積約110m2;潔凈前區(qū)設(shè)人員換鞋區(qū)、更衣室、風(fēng)淋室等,隔離外界污染。潔凈區(qū)人員流動方向:換鞋、一次更衣---風(fēng)淋室---潔凈車間。在凈化車間設(shè)安全門,便於人員疏散。(進入風(fēng)淋室前需作一道空氣過濾)潔凈區(qū)物料流動方向:傳遞窗---潔凈車間---傳遞窗---其它工序;b、其它區(qū)域:由甲方自行負責(zé),不在本設(shè)計方案范圍內(nèi)。









和其他產(chǎn)業(yè)不同,集成電路產(chǎn)業(yè)鏈幾乎所有環(huán)節(jié)都需要在潔凈室內(nèi)完成,從單晶硅片制造,到IC制造的幾乎所有環(huán)節(jié),千級凈化工程安裝,到IC封裝都需要在潔凈室中完成,且對于潔凈度的要求非常高。如,14納米工藝中7納米的微粒就會影響制造過程。集成電路制造過程需要的潔凈程度越來越高,對于潔凈室工程的技術(shù)提出越來越高的要求。潔凈室工程是集成電路制造環(huán)節(jié)中重要的一環(huán),直接決定了終產(chǎn)品的成敗。

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